絕對(duì)壓力測(cè)量對(duì)于半導(dǎo)體、FPD、HDD、PV 和涂層等各個(gè)行業(yè)的大多數(shù)真空過(guò)程至關(guān)重要。當(dāng)壓力差施加到隔膜的兩側(cè)時(shí)，電容壓力計(jì)確定隔膜變形產(chǎn)生的總壓力。與其他方法相比，電容壓力計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是：

?更高的精度

?壓力輸出對(duì)氣體的依賴性更小

?相對(duì)耐腐蝕性氣體

特征

• 緊湊的自加熱設(shè)計(jì)

• 獨(dú)創(chuàng)信號(hào)處理方式，精準(zhǔn)測(cè)量

• SUS316L隔膜

• 可選擇溫度控制（55、100°C）或非加熱型

• 一鍵歸零

• 電源要求 +/-15VDC 或 24VDC

• 符合 CE 和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

規(guī)格

*1 傳感器溫度標(biāo)示在銘牌上。訂貨時(shí)請(qǐng)注明傳感器溫度。
*2 包括線性、遲滯和重復(fù)性。（環(huán)境溫度25°C）
*3 在規(guī)定的環(huán)境條件下，當(dāng)產(chǎn)品周圍有熱源或某些產(chǎn)品緊密排列時(shí)，環(huán)境溫度可能會(huì)超過(guò)規(guī)定的環(huán)境溫度。
*4 零點(diǎn)可調(diào)范圍為±5%。
*5 請(qǐng)?jiān)谟嗁?gòu)時(shí)指定配件。

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